RTP 장비,급속 열처리 장비(Gold Sleeve 제작 (RTP)
RTP장비는 반도체 제조과정에서 이온주입(ion implantation) 후 열처리(annealing)와 각종 산화막을 증착하는 공정, 비정질 실리콘을 열처리해 다결정 실리콘으로 재결정시키는 공정 등에 사용되는 장비입니다.300mm 기준으로 AMAT 및 APSYSTEM 등이 있습니다. A 社 장비는 Centura, Vantage,Vulcan 장비가 있으며 한국에 APSYSTEM의 경우KORONA™ RTP-12MP/LPO,KORONA™ RTP-12LPO가 있습니다. 텅스텐 할로겐램프를 이용하여 짧은 시간 이내에 웨이퍼를 고온으로 처리하는 열처리(Rapid Thermal Processing, RTP) 장비는 Implantation, Diffusion 등의 분야에서 이용됩니다 (Rapid Thermal P..
