기술영업

RTP Vulcan 장비에 사용되는 Gold sleeve입니다.  0021-83453-02 / 0021-83463-02문의사항: E-MAIL: ybi1975197@naver.com Mobile: +82 10-2956-2143

RTP 장비에 사용되는 Lamp Housing입니다. A社 장비는 Centura, Vantage,Vulcan 장비에 들어갑니다.  -0040-70247-0040-88855 -문의사항- E-MAIL: ybi1975197@naver.com Mobile: +82 10-2956-2143               010-2956-2143  문의사항: E-MAIL: ybi1975197@naver.com Mobile: +82 10-2956-2143               010-2956-2143 Gold Sleeve,Lamp Housing

Gold Sleeve Part Code -0010-04675 -0010-01419 -0021-83453-02 -0021-83463-020010-04675 / 0010-01419 / 0021-83453-02 / 0021-83463-02  -문의사항-E-MAIL: ybi1975197@naver.comMobile: +82 10-2956-2143               010-2956-2143                                                                                           (제조 공장)-문의사항-E-MAIL: ybi1975197@naver.comMobile: +82 10-2956-2143               010-2956-..

RTP장비는 반도체 제조과정에서 이온주입(ion implantation) 후 열처리(annealing)와 각종 산화막을 증착하는 공정, 비정질 실리콘을 열처리해 다결정 실리콘으로 재결정시키는 공정 등에 사용되는 장비입니다.300mm 기준으로 AMAT 및 APSYSTEM 등이 있습니다. A 社 장비는 Centura, Vantage,Vulcan 장비가 있으며 한국에 APSYSTEM의 경우KORONA™ RTP-12MP/LPO,KORONA™ RTP-12LPO가 있습니다.  텅스텐 할로겐램프를 이용하여 짧은 시간 이내에 웨이퍼를 고온으로 처리하는 열처리(Rapid Thermal Processing, RTP) 장비는 Implantation, Diffusion 등의 분야에서 이용됩니다 (Rapid Thermal P..